如今，我們生活在一個新世紀，新技術時代，雖然生活中包含了新材料、新能源、生物工程、海洋工程、航空航天技術和電子信息技術等等，但是影響最大，運用最廣泛，滲透性最強，最具有新技術時代代表性的乃是以微電子技術為核心的電子信息技術。微電子技術是隨著集成電路，尤其是超大型規模集成電路而發展起來的一門新的技術，微電子技術包括系統電路設計，器件物理、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門技術，隨著微電子行業的不斷發展，他們的用水標準也要符合規定的標準，微電子行業需用超純水。

以下是適用于微電子行業用水的工藝流程：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→泥床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過 濾器→用水點。

2、采用反滲透工藝水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為： 原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→ 后罝精密過濾器→用水點。

3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的方式，這是一種超純水處理的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為： 原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)—純水箱→純水泵→后罝精密過濾器→用水點。

當然，需要根據實際情況設計合理的工藝流程。其中，反滲透設備是制取超純水的關鍵，能夠有效地去除水中的溶解鹽類、膠體、微生物、有機物等。